다양한 산업 기계의 성능 향상을 위해.
“물”을 고정밀도로 최적의 온도로 제어
「물」또는 「순수」를 열매체에 사용하는 경우의 액온 자동 조정기입니다. 레이저 가공기나 노광 장치를 비롯한 반도체 제조 장치, 의료 기계, 리니어 모터 등의 기계 요소의 냉각에 이용되어 매우 정밀도가 높은 온도 제어를 실현합니다.
반도체 제조 장치, 의료 기계 등의 열 문제에 대응
반도체 제조장치, 의료기계, 리니어 모터, 기타 산업기계 등 중에는 가동시의 열에 대한 냉각액에 ‘물’ 또는 ‘순수’를 사용해야 하는 기기가 있습니다. 「퓨어매틱」은, 그러한 경우의 「물」 「순수」의 액온 자동 조정기입니다. 매우 정밀한 온도 제어를 요구하는 경우도 있으며, 당사 제품 중에서도 가장 높은 수준의 기술이 구사되고 있는 제품이 있습니다. 특히 반도체 제조장치 메이커를 향해 세계 최고 수준의 온조기 제공을 하고 있습니다.
라인업
스핀들 냉각, 작동유 온도 조절, 윤활유 온도 조절용
W 시리즈
공작 기계의 주축 헤드의 빌트인 모터나 리니어 모터, 반도체 제조 장치나 각종 산업 기계에 사용되는 「물」의 고정밀도 온도 컨트롤이 가능한 기종으로, 인버터 제어 방식을 채용. 저부하 영역에 있어서도 고정밀도로 액온의 컨트롤이 가능한 「트윈 펄스 밸브 제어(특허)」를 탑재하고 있어, 저부하에서 최대 열부하에 이르기까지 넓은 범위의 제어를 가능하게 하고 있습니다.
P 시리즈
주로 반도체 제조장치나 의료기기 등의 각종 산업기계·이화학기기로 물이나 순수, 그 외 특수한 액체를 열매체로 하여 고정밀도의 온도 컨트롤을 하는 것을 목적으로 개발된 기종입니다. W 시리즈와 마찬가지로 인버터 냉동기를 탑재하여 트윈 펄스 밸브 제어를 실시함으로써 광범위하게 고정밀 온도 제어를 실시합니다. 장치 본체에 통합하는 등 OEM 공급의 실적도 풍부합니다.
